求教用HFSS仿真無源平面電感

對于一個無源電感，類似于full_book中的spiral inductor，只是在SiO2層上面多加了一層無源介質層
具體參數如下：
最下面一層是Si，厚度525um
上面成長一層SiO2，厚度0.5um
然后在上面覆蓋一層介質層，厚度10um
在介質層上面用銅作平面電感，厚度10um

我用HFSS仿真2G，掃描0.1-10G，網格數設置為10w，觀察電感的Q值
發現仿真結果有以下幾個問題：
1。在低頻0.1-1G時，仿真曲線不平滑，有凸起
2。增加介質層厚度（從10->15->20->25->30等），按理Q應該增加，但仿真中10與15結果相近，20與25結果相近，以此類推。

我老板給出的結論是網格的問題，但是對于525um以及0.5um和10um，該如何分別設置網格比較合適，我曾簡單試過，但沒有理論根據，ms解決不了問題

下圖是仿真的結果，麻煩大家出出主意，我是一個HFSS新手，對于電磁場理論知道的也不多，還請大家多多幫忙討論討論，謝謝了：）

最好能夠附一個仿真源文件！
至于你說的，我想跟設置應該會有關系！不過，像這樣晶體管級的設計，設置不能粗糙，網格劃分精細點，犧牲一些仿真時間是必要的。

題外話：
這個是世界級的課題！
如果能夠做出Q值超過100的半導體工藝螺旋電感，你可以去申請諾獎了！

謝謝樓上的牛人：）
我將仿真文件貼上，供大家參考
現在的問題還是低頻時各種厚度介質層的曲線都重合
我準備分段仿真查看一下，即0.1-1G，1-3G，3-10G，中心點分別是0.5，2和6.5G
對于網格的劃分
我才用的是自動劃分
也曾用過手工分結構劃分
但是結果變化不明顯
很有可能是我手工劃分得不對
因為我對有限元仿真及網格劃分等知道得太少了，這是第一次做。。

還請大家幫忙看看，謝謝了：）

btw：平面電感有做到100的嗎？我看文獻都沒看到，我能做到25老板就可以讓我畢業了：（
另外還加了一個文獻的結果

呵呵，牛人不敢，道聽途說的！
據說，目前最好的是30幾！

曾經有仿真過平面電感，（基于PCB的）！
建議你采用八邊型的，方形的磁場分布非常的不均勻。
像你這個尺寸這么大的要實現25的Q值應該不難！

文獻上ms就是30
關鍵是老板要求仿真一定要準確，才能跑工藝流水

你這個應該是半導體工藝的吧！
那線圈、過孔為什么還用銅，半導體工藝可以實現嗎？（這個在RFIC里面的做法我不是很清楚，還請多多指教！因為傳統的半導體工藝是鋁做金屬導體的，過孔還真不知道怎么處理，應該不是銅吧！）
還有，你改變介質厚度，過孔高度，有沒有相應跟著改變？

是半導體封裝工藝
改變介質厚度
過孔絕對高度改變，相對不變

謝謝，有點收獲了

lZ 是參照的哪篇文獻啊，能不能給個名字啊