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ICP等離子體源天線的設計問題

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請問哪位大俠做過ICP(電感耦合等離子體)的平面螺旋天線或柱狀螺旋天線的仿真?  
初次接觸這方面的內容, 不知道如何下手. 主要是對近場還是遠場進行仿真? 仿真時主要關注E場和H場嗎? 方向圖有什么要求? 用什么軟件比較適合, 我看見過有人用CST MWS, 不知道要不要用CST的粒子工作室? HFSS行嗎? 
Microwave_Plasma_Sources.pdf (178 K) 下载次数:2  

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